Crystal Growth of MnS buffer layer for non-polar AlN on Si (100) deposited by RF-magnetron sputtering
(Si(100）基板上無極性AlN薄膜成長のためのスパッタ法を用いたMnSバッファー層の結晶成長)
Solid State Device and Material. 2018.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-03-04 09:35:57 +0900更新時刻: 2019-03-04 09:35:57 +0900