HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] プラズモン特性を有する窒化チタン膜及びその製造方法2019-06-06. 特開2019085629号 (Google Patents) , 特許7378755号NIMS著者石井 智長尾 忠昭作成時刻 :2023-07-22 21:45:57 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:57 +0900