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[公開特許出願] sp3-結合性BN高密度相を有するBN薄膜およびその製造方法。

2009-11-05. 特開2009256766号 (Google Patents) , 特許5218969号

NIMS著者


作成時刻 :2023-07-22 21:45:23 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:23 +0900

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