HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] テラヘルツ発振素子、その製造方法、および、テラヘルツ発振装置2022-03-03. 特開2022034096号 (Google Patents) NIMS著者竹屋 浩幸高野 義彦寺嶋 健成作成時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900