HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 無欠陥領域を有するエピタキシャル膜を基板上に形成する方法及び無欠陥領域を有するエピタキシャル膜付き基板2015-09-07. 特開2015162669号 (Google Patents) , 特許6245609号NIMS著者知京 豊裕柳生 進二郎吉武 道子作成時刻 :2023-07-22 21:45:45 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:45 +0900
