HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 蒸着用シャッター装置及びこれを用いた成膜装置2013-07-11. 特開2013136834号 (Google Patents) , 特許6008321号NIMS著者土佐 正弘笠原 章後藤 真宏作成時刻 :2023-07-22 21:45:40 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:40 +0900
