HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 蒸着装置と蒸着方法2010-09-24. 特開2010209443号 (Google Patents) , 特許5401130号NIMS著者土佐 正弘後藤 真宏笠原 章作成時刻 :2023-07-22 21:45:26 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:26 +0900