HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] β-Ga2O3単結晶膜の製造方法及び結晶積層構造体2013-03-28. 特開2013056802号 (Google Patents) , 特許5866727号NIMS著者ビジョラ ガルシア島村 清史作成時刻 :2023-07-22 21:45:35 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:35 +0900