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NIMS一般公開2024

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[公開特許出願] 界面層削減方法、高誘電率ゲート絶縁膜の形成方法、高誘電率ゲート絶縁膜、及び高誘電率ゲート酸化膜を有するトランジスタ

2011-06-09. US20120280372A (Google Patents) WO2011068096 (Google Patents) USS20120280372A (Google Patents)

NIMS著者


作成時刻 :2023-07-22 21:45:33 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:33 +0900

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