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[公開特許出願] 窒化アルミニウム結晶の成長方法と窒化アルミニウム基板および半導体デバイス

2009-07-02. 特開2009143778号 (Google Patents)

NIMS著者


作成時刻 :2023-07-22 21:45:20 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:20 +0900

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