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熱フィラメントCVD 法による(1 1 1)表面への リンドープn 形ダイヤモンド のホモエピタキシャル成長

著者片宗優貴, 森 大地, 和泉 亮, 嶋岡 毅紘, 市川 公善, 小泉 聡.
掲載誌名NEW DIAMOND 26-28
出版社
出版年2020
言語Japanese

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