HOME > その他の文献 > 書誌詳細フィルターや真空封止部のリーク箇所の可視化(Visualizing micro leakage position by dynamic measurement in operando hydrogen microscope)板倉 明子, 宮内 直弥, 北島 正弘, 矢ヶ部 太郎, 吉田 肇. 表面と真空 67 [12] 608-614. 2024.https://doi.org/10.1380/vss.67.608 Open Access 公益社団法人 日本表面真空学会 (Publisher) Materials Data Repository (MDR) NIMS著者矢ヶ部 太郎Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセットMDRavailable Visualization of Micro-level Leak Position of Filters and Vacuum Seals 作成時刻: 2025-05-14 15:04:18 +0900 更新時刻: 2026-08-11 04:31:37 +0900