高電圧パルスによるプラズマを用いたプラズマイオン注入
(Plasma based ion implantation using a plasma ignited by high voltage electric pulses)
NIMS著者
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作成時刻: 2020-11-20 10:40:39 +0900 更新時刻: 2020-11-20 10:40:39 +0900