ラジカル酸窒化中の表面応力変動
(Surface stress during radical oxidation and following nitridation)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2020-11-20 10:44:14 +0900 更新時刻: 2020-11-20 10:44:14 +0900