Laboratory Based Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy for Buried Interface Analysis of Microelectronic Components

著者	W Hamouda,, C. Lubin, 上田茂典, 山下良之, O. Renault, F. Mehmood, T. Mikolajick, U. Schroeder, R. Negrea, N. Barrett.
掲載誌名	Scienta Omicron Result of the Month 1-1
出版社
出版年	2021
言語	English