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Laboratory Based Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy for Buried Interface Analysis of Microelectronic Components

W Hamouda,, C. Lubin, 上田 茂典, 山下 良之, O. Renault, F. Mehmood, T. Mikolajick, U. Schroeder, R. Negrea, N. Barrett.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2021-10-29 03:35:17 +0900更新時刻: 2021-10-29 03:35:17 +0900

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