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HfO2およびZrO2基強誘電体膜の厚膜化と室温合成

著者三村 和仙, 志村 礼司郎, 舟窪 浩, 清水 荘雄.
掲載誌名超音波TECHNO 41-45
出版社
出版年2020
言語Japanese

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