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HfO2およびZrO2基強誘電体膜の厚膜化と室温合成

三村 和仙, 志村 礼司郎, 舟窪 浩, 清水 荘雄.
超音波TECHNO 41-45. 2020.

NIMS author(s)

Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)

    Created at: 2020-11-20 10:36:06 +0900Updated at: 2020-11-20 10:36:06 +0900

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