HOME > その他の文献 > 書誌詳細Langmuir probe measurements in a low pressure inductively coupled plasma used for diamond depositionOKADA, Katsuyuki, 小松正二郎, 松本精一郎. Journal of Vacuum Science & Technology A 721-725. 1999.NIMS著者岡田 勝行Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 10:55:40 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:55:40 +0900
