自己組織膜テンプレートを用いた酸化物セラミックスのパターン製膜
(Pattern-Deposition of OxideCeramicFilms using Self-Assembled Monolayer Template)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2020-11-20 10:42:18 +0900更新時刻: 2020-11-20 10:42:18 +0900