自己組織膜テンプレートを用いた酸化物セラミックスのパターン製膜
(Pattern-Deposition of OxideCeramicFilms using Self-Assembled Monolayer Template)
| 著者 | 齋藤 紀子, 河本邦仁. |
|---|---|
| 掲載誌名 | マテリアルインテグレーション 3 [16] 12-16 |
| 出版社 | |
| 出版年 | 2003 |
| 言語 | Japanese |