Vapor-Assisted Surface Activation Bonding for Low-Temperature Hetero Integration in Ambient Air
(架橋層形成低温大気圧接合法を用いたヘテロインテグレーション)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 13:22:10 +0900 更新時刻: 2022-09-05 13:22:10 +0900