Hybrid bonding in ambient air – a feasible tool for mixed integrations
(大気圧ハイブリッド・ボンディングで創る有機・無機材料混載基板)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 13:44:59 +0900 更新時刻: 2022-09-05 13:44:59 +0900