次世代ゲート絶縁膜の課題とコンビナトリアル手法による材料探索
(Critical issues of Gate insulator and their solusion by combinatorial materials exploration)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2020-11-20 10:41:12 +0900 更新時刻: 2020-11-20 10:41:12 +0900