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著者名中払 周, 小川 真一, 塚越 一仁, 佐藤 信太郎, 横山 直樹.
タイトルウェハスケール・トップダウン加工でのグラフェントランジスタ試作
(ウェハスケール・トップダウン加工でのグラフェントランジスタ試作) カーボンナノチューブ・グラフェンの 応用研究最前線
出版社名
発表年2016
言語Japanese
ISBN

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