Formation of silicon nanowires by CVD using gold catalysts at low temperatures
(CVD法による金触媒を用いた低温シリコンナノワイヤー成長)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 15:17:40 +0900 更新時刻: 2026-10-03 06:28:17 +0900