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著者名Zhenxing Li, Thang Duy Dao, Tadaaki Nagao, Motoki Terano, Masahiko Yoshino.
タイトルFabrication of plasmonic nanopillar arrays based on nanoforming
掲載誌名Microelectronic Engineering 139 7 12
ISSN: 01679317
発表年2015
言語English
DOI10.1016/j.mee.2015.04.086
ESIでのカテゴリENGINEERING
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