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著者名C. Zborowski, O. Renault, A. Torres, C. Guedj, Y. Yamashita, S. Ueda, G. Grenet, S. Tougaard.
タイトルQuantitative determination of elemental diffusion from deeply buried layers by photoelectron spectroscopy
掲載誌名JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 124 8 085115-1 085115-12
ISSN: 00218979 10897550
発表年2018
言語English
DOI10.1063/1.5033453
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