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NIMS材料技術展示会2023 - NIMS Technology Showcase2023 10/11

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Thermal recovery of damage in SiO2/Si structure implanted with copper negative-ions
(銅負イオン照射されたSiO2/Si構造のダメージの熱的回復過程)

著者AMEKURA, Hiroshi, 李致圭, KISHIMOTO, Naoki.
掲載誌名Transactions of Materials Research Society of Japan
出版社
発表年
言語English

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