Thermal recovery of damage in SiO2/Si structure implanted with copper negative-ions
(銅負イオン照射されたSiO2/Si構造のダメージの熱的回復過程)
| 著者 | AMEKURA, Hiroshi, 李致圭, KISHIMOTO, Naoki. |
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| 掲載誌名 | Transactions of Materials Research Society of Japan |
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| 言語 | English |