Thermal recovery of damage in SiO2/Si structure implanted with copper negative-ions
(銅負イオン照射されたSiO2/Si構造のダメージの熱的回復過程)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-11-15 00:40:22 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:40:22 +0900