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Reaction and regrowth control of CeO2on Si(111) surface for the silicon‐on‐insulator structure

著者T. Chikyow, S. M. Bedair, L. Tye, N. A. El‐Masry.
掲載誌名Applied Physics Letters 65 [8] 1030-1032
ISSN: 00036951, 10773118
ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社AIP Publishing
発表年1994
言語unknown
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.113011
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