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(スパッタリング法で成膜されたITO膜の特徴)

亀井 雅之, 安井, 安井.
セラミックス 33 [10] 816-819. 1998.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2016-05-24 11:38:50 +0900 更新時刻: 2018-12-14 22:31:08 +0900

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