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亀井 雅之
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305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
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研究内容

Keywords

高速スパッタリング、深さ方向屈折率制御、低温成膜

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

会議録
口頭発表
特許
  • 特許第4766368号 バイポーラパルススパッタリング成膜装置および同装置を用いて作製される薄膜材料の製造方法 (2011)
  • 特許第4538600号 光触媒の活性度評価・測定法とそのための装置 (2010)
  • 特許第4682371号 磁場制御を施した陽極を備えてなる単一電源型スパッタリング装置 (2011)
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第二期開発予定
第二期開発予定

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