UHV-Bonding and Reversible Interconnection

著者	Naoe HOSODA, Tadatomo SUGA, Shingo OBARA, Kichiro IMAGAWA.
掲載誌名	TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY FOR AERONAUTICAL AND SPACE SCIENCES 49 [166] 197-202 ISSN: 05493811, 13473840 ESIでのカテゴリ: ENGINEERING
出版社
発表年	2007
言語	English
DOI	https://doi.org/10.2322/tjsass.49.197
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