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シリコン酸チッ化中の表面応力変動
(Surface stress during plasma oxidation and following Nitridation)

板倉 明子, 成島哲也, 北島 正弘, Tetsuya NARUSHIMA.
SHINKU 45 [3] 127-129. 2002.

NIMS著者


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    作成時刻 :2016-05-24 11:45:56 +0900 更新時刻 :2024-03-29 17:40:36 +0900

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