シリコン酸チッ化中の表面応力変動
(Surface stress during plasma oxidation and following Nitridation)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:45:56 +0900 更新時刻: 2026-11-01 04:17:46 +0900