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著者名Akiko N. ITAKURA, Tetsuya NARUSHIMA, 北島 正弘.
タイトル
(Surface Stress during Plasma Oxidation and following Nitridation.)
掲載誌名SHINKU 45 3 127 129
ISSN: 18809413 05598516
発表年2011
言語Japanese
DOI10.3131/jvsj.45.127
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