シリコン酸チッ化中の表面応力変動
(Surface stress during plasma oxidation and following Nitridation)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:45:56 +0900更新時刻: 2024-04-01 17:31:26 +0900