Epitaxial Growth of the Wurtzite (11ar20) AlN Thin Films on Si(100) with MnS Buffer Layer | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Epitaxial Growth of the Wurtzite (11ar20) AlN Thin Films on Si(100) with MnS Buffer Layer
(MnSバッファーを用いたSi(100)面上のAlNエピタキシャル成長)

Jeong-Hwan Song, Toyohiro Chikyow, Young-Zo Yoo, Parhat Ahmet, Hideomi Koinuma.

Japanese Journal of Applied Physics 41 [Part 2, No. 11B] L1291-L1293. 2002.

https://doi.org/10.1143/jjap.41.l1291

NIMS著者

知京豊裕

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2016-05-24 11:54:07 +0900更新時刻: 2024-04-01 23:36:12 +0900

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