GaAs/AlAs Superlattice as a Proposed New Reference Material for the Sputter Depth Profiling.
(スパッタリングによる深さ方向解析用標準試料としてのGaAs/AlAs超格子.)

著者	吉原一紘, D.W.Moon, K. Yoshihara, D. W. Moon, D. Fujita, K. J. Kim, K. Kajiwara.
掲載誌名	Surface and Interface Analysis 20 [13] 1061-1066
出版社
発表年	1993
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1002/sia.740201306
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