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Fabrication of diamond in-plane-gated field effect transistors using oxygen plasma etching

Tokishige Banno, Minoru Tachiki, Kazushi Nakazawa, Yu Sumikawa, Hitoshi Umezawa, Hiroshi Kawarada.
Diamond and Related Materials 12 [3-7] 408-412. 2003.

NIMS著者


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    作成時刻: 2016-05-24 12:02:12 +0900 更新時刻: 2026-04-28 05:50:30 +0900

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