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著者名Alexandre Fiori, François Jomard, Tokuyuki Teraji, Gauthier Chicot, Etienne Bustarret.
タイトルImproved depth resolution of secondary ion mass spectrometry profiles in diamond: A quantitative analysis of the delta-doping
掲載誌名Thin Solid Films 557 222-226
ISSN: 00406090
ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社Elsevier BV
発表年2014
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.10.076
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