HOME > 論文 > 書誌詳細Electron induced nano-deposition of tungsten using field emission scanning and transmission electron microscopes(電界放射型の走査および透過電子顕微鏡を用いたタングステンの電子線誘起ナノデポジション)M. Shimojo, K. Mitsuishi, A. Tameike, K. Furuya. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 22 [2] 742. 2004.https://doi.org/10.1116/1.1688349 NIMS著者三石 和貴Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 12:02:40 +0900更新時刻: 2024-04-01 17:28:44 +0900