HOME > 論文 > 書誌詳細Development of combinatorial ion implantation system(コンビナトリアルイオン注入装置の開発)Yoshiyuki Sato, Isao Sakaguchi, Mineharu Suzuki, Hajime Haneda. Japanese Journal of Applied Physics 42 [Part 1, No. 9A] 5867-5868. 2003.https://doi.org/10.1143/jjap.42.5867 NIMS著者坂口 勲Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:59:13 +0900 更新時刻: 2026-05-25 04:23:12 +0900
