Low resistance TiAl ohmic contacts with multi-layered structure for p-type 4H-SiC.
(p型4H-SiCへの多重層構造を持つTiAl低抵抗オーム性電極)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:54:34 +0900更新時刻: 2024-09-06 04:16:27 +0900