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Science and Technology of Integrated Super-High Dielectric Constant AlOx/TiOy Nanolaminates / Diamond for MOS Capacitors and MOSFETs

Jiangwei Liu, Orlando Auciello, Elida de Obaldia, Bo Da, Yasuo Koide.
Carbon 172 112-121. 2021.

NIMS著者


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    作成時刻: 2020-11-20 03:00:13 +0900更新時刻: 2024-09-10 04:29:33 +0900

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