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Double-Polarity Selective Area Growth of GaN Metal Organic Vapor Phase Epitaxy by Using Carbon Mask Layers

著者Yohei Fujita, Yasushi Takano, Yoku Inoue, Masatomo Sumiya, Shunro Fuke, Takayuki Nakano.
掲載誌名Japanese Journal of Applied Physics 52 [8S] 08JB26
ISSN: 13474065, 00214922
ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社IOP Publishing
発表年2013
言語English
DOIhttps://doi.org/10.7567/jjap.52.08jb26
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