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HIGH-RATE GROWTH OF HIGH-QUALITY MICROCRYSTALLINE SILICON FILMS FROM PLASMA BY INTERCONNECTED MULTI-HOLLOW CATHODE

NIIKURA, Chisato, 板垣奈穂, 松田彰久.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2022-10-21 22:15:08 +0900更新時刻: 2022-10-21 22:15:08 +0900

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