Micro-Opto-Electro-Mechanical Device Based on Flexible β-Ga2O3 Micro-Lamellas

Marco Peres; A. J. S. Fernandes; F. J. Oliveira; L. C. Alves; E. Alves; T. S. Monteiro; S. Cardoso; M. Alonso-Orts; E. Nogales; B. Méndez; E. G. Víllora; K. Shimamura; K. Lorenz; Marco Peres; A. J. S. Fernandes; F. J. Oliveira; L. C. Alves; E. Alves; T. S. Monteiro; S. Cardoso; M. Alonso-Orts; E. Nogales; B. Méndez; E. G. Víllora; K. Shimamura; K. Lorenz

doi:10.1149/2.0441907jss

Micro-Opto-Electro-Mechanical Device Based on Flexible β-Ga2O3 Micro-Lamellas

Marco Peres, A. J. S. Fernandes, F. J. Oliveira, L. C. Alves, E. Alves, T. S. Monteiro, S. Cardoso, M. Alonso-Orts, E. Nogales, B. Méndez, E. G. Víllora, K. Shimamura, K. Lorenz.

ECS Journal of Solid State Science and Technology 8 [7] Q3235-Q3241. 2019.

https://doi.org/10.1149/2.0441907jss

NIMS author(s)

SHIMAMURA, Kiyoshi

Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)

Created at: 2019-10-22 03:00:22 +0900 Updated at: 2026-10-30 05:31:44 +0900