Micro-Opto-Electro-Mechanical Device Based on Flexible β-Ga2O3 Micro-Lamellas
Marco Peres, A. J. S. Fernandes, F. J. Oliveira, L. C. Alves, E. Alves, T. S. Monteiro, S. Cardoso, M. Alonso-Orts, E. Nogales, B. Méndez, E. G. Víllora, K. Shimamura, K. Lorenz.