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Characterization of comet-shaped defects on C-face 4H-SiC epitaxial wafers by electron microscopy

T. Yamashita, H. Matsuhata, T. Sekiguchi, K. Momose, H. Osawa, M. Kitabatake.
Journal of Crystal Growth 416 142-147. 2015.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻 :2017-07-04 22:30:03 +0900 更新時刻 :2020-11-16 22:43:41 +0900

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