SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 論文 > 書誌詳細

Characterization of Ion-Implanted Gallium Diffusion in Silicon

Yoshiyuki Sato, Isao Sakaguchi, Hajime Haneda.
Japanese Journal of Applied Physics 43 [12] 8024-8025. 2004.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2016-05-24 14:40:32 +0900 更新時刻: 2025-04-16 05:46:56 +0900

    ▲ページトップへ移動