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Characterization of Ion-Implanted Gallium Diffusion in Silicon

Yoshiyuki Sato, Isao Sakaguchi, Hajime Haneda.
Japanese Journal of Applied Physics 43 [12] 8024-8025. 2004.

NIMS著者


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    作成時刻: 2016-05-24 14:40:32 +0900更新時刻: 2024-04-01 23:25:17 +0900

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