Comparative study of TiO2 anatase epitaxial thin films grown by magnetron sputtering and metal organic chemical vapor depositio
(MOCVDおよびスパッタリングで作製したアナターゼエピタキシャル膜の比較研究)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:58:05 +0900更新時刻: 2024-04-30 06:01:29 +0900