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著者名Shinichi Igarashi, Akiko N. Itakura, Masahiro Kitajima, Anye N. Chifen, Renate Förch, Rüdiger Berger.
タイトルSurface stress control using ultraviolet light irradiation of plasma-polymerized thin films
掲載誌名Applied Physics Letters 88 [14] 143119
ISSN: 10773118 00036951
発表年2006
言語English
DOI10.1063/1.2183807
ESIでのカテゴリPHYSICS
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