表面改質を用いた接合技術による低温での材料複合化
(Hetero-Integration of Mixed Materials at Low Temperature by Chemical Surface Modification-Based Bond Methods)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 15:43:25 +0900更新時刻: 2018-05-30 19:03:15 +0900