Removal of Si(111) wafer surface etch pits generated in ammonia-peroxide clean step
(Si 表面にアンモニア過酸化水素のクリーンなステップで生成されました穴の除去)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 12:00:03 +0900 更新時刻: 2026-10-03 05:45:06 +0900